步进式投影光刻机-苏州海思微电子科技有限公司简述
苏州海思微电子科技有限公司是专业从事步进式投影光刻机、全自动光刻机 (Mask Aligner) 研发、制造与销售,在2018年开始销售第一台量产型全自动光刻机,累计超过70台装机量并平稳运行。 海思掩模对准可容纳 300 mm 产品,兼容不容形状和厚度的晶圆和基片,应用于MEMS,集成电路、混合模块、化合物半导体、光电模块、3D封装,光学器件、功率器件,微纳米加工等各个领域。
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